Grenz- bzw. Oberflächensensitive Analysemethode zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung. Im Ultrahochvakuum werden Oberflächenatome mit einem Elektronenstrahl bei einer Energie von 1-10 keV in einer inneren Schale ionisiert, wobei unter anderem Auger Elektronen emittiert werden (siehe Auger Elektronen). Die Energie der Auger Elektronen ist elementspezifisch, so dass die chemische Zusammensetzung der Oberfläche mit Hilfe von Referenzspektren ermittelt werden kann. Dazu werden die von der Probenoberfläche emittierten Elektronen energieaufgelöst detektiert. Die elementspezifische Information wird durch die Energie der Auger Elektronen und die Quantität durch die Höhe des Augerpeaks im Spektrum bestimmt. Neben den Auger Elektronen werden elastisch und inelastisch gestreute Elektronen beobachtet. Inelastische Streuungen treten z.B. bei Anregung von Plasmonen auf. Auger Elektronen wurden erstmals von Pierre Auger 1925 beobachtet und als strahlungslose Relaxation angeregter Atome beschrieben.
Von tech portal
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